电力网讯：9月27日2010第二届（北京）国际太阳能光伏会议暨展览会 2010“金太阳”世界光伏产业峰会在中国国际贸易中心隆重开幕，此次展会汇集了多方知名企业，其中北京七星创华电子股份有点公司为我们带来了太阳能电池片工艺流程，备受瞩目。

公司简介

北京七星华创电子股份有限公司（简称“七星电子”）传承五十多年电子装备及元器件的生产制造经验，于2001年9月成立。公司坐落于中关村高科技产业开发区“电子城科技园”，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。

七星电子是中国电子专用设备工业协会理事长及中国电子元件协会副理事长单位，拥有优秀的技术研发团队，具备一流的生产环境，加工手段和检测仪器，是中国最大的电子装备生产基地和高端的电子元器件制造基地。与美国，法国，日本，韩国等多家国际知名公司有着长期的合作交流，并以优质的产品和优良的服务赢得了国内外客户的赞许和信赖。

随着光伏产业的发展，公司也成长为国内太阳能电池设备的主要供应商，所生产的制绒清洗剂、硅片清洗机、PSG清洗机、高温扩散炉、PECVD等设备以及良好的性价比装配到国内多条生产线上并成功出口海外。

七星销售主管付伯承和电力网记者

太阳能电池片工艺流程介绍

硅材料清洗→铸锭/拉晶→切片→制绒→扩散→刻蚀→去磷硅玻璃清洗→电阻率测试→沉积减反射膜→电极的丝网印刷→烧结

多晶硅棒、芯清洗机

设备概述

多晶硅棒、芯清洗机用于硅材料生产行业中，对棒状活杆状硅材料的表面进行湿法化学清洗。

产品的主要特点及优势

全自动清洗，工件干进—干出；

配酸补酸自动完成，操作安全，避免操作者直接接触酸液；

兼容多种直径和长度的硅芯、硅棒；

吊钩采用特殊结构，有效防止腐蚀死点；

采用PLC控制，操作简单、直观；

内置多套成熟工艺，可通过触摸屏编辑、修改；

漏液报警，开门停机程序等多种措施；有效保证操作者安全。

多晶硅块清洗机

设备概述

多晶硅块清洗机用于硅材料行业中，对块状硅材料的表面进行湿法化学清洗

产品的主要特点及优势

全自动清洗，工件干进—干出；

配酸补酸自动完成，操作安全，避免操作者直接接触酸液；

采用真空加热干燥技术，高效低能耗；

内置多套成熟工艺，可通过接触屏编辑、修改；

双机械臂花篮传送系统，满足高速移载节拍的需要；

提篮监测采用机械传动+光电感应式，判断准确度达99.99%，有效避免误报警，减少排除故障的时间；

漏液报警，开门停机程序等多种措施，有效保证操作者安全；

采用PLC控制，操作简单、直观。

制绒清洗机

设备概述

制绒清洗机用于太阳能光伏行业中，利用化学腐蚀方法，在硅片表面得到所需的微结构（绒面）。

产品的主要特点及优势

针对单晶制绒和多晶制绒两种工艺，分别有相应的成套设备；

设备采用框架提篮方式对硅片进行清洗；

采用进口加热器，配以热偶和温控器对槽内溶液温度进行闭环控制，各工艺槽温度均可独立设置；

机械臂运行平稳迅速，满足多种工艺节拍的需要；

工艺槽均设有自动开闭的槽盖，减少溶液挥发，降低能耗；

自动补液系统（CDS）,保证溶液在工艺中浓度；

采取多种监测保护措施，保证设备运行的安全性与可靠性；

采用PLC控制，操作简单、直观。

SSD8472A软着陆闭管扩散

设备概述

扩散炉是半导体加工中典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏及行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

产品的主要特点及优势

配备自动舟升降系统，实现四管工艺舟，全自动取料。

软着陆载片装置软：避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。

自动压力平衡控制：为保证反应管内压力平衡，该装置配有进口压差传感器检测炉内外压差，并有专门的控制装置和气路流量计与之配套实时控制，保证炉内外压差为定值。且可根据工艺需求改变压差设定值。从而提高工艺均匀性及工艺扩展性。

高精度温度控制：新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。

高性能进口元器件组合：关键件采用进口，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量。

MCP刻边机

设备概述

MCP刻边机时太阳能电池制造过程中，利用等离子体对扩散后的硅片进行周边刻蚀的设备。

产品的主要特点及优势

本设备用于刻边工艺；

采用不锈钢材质做反应腔室，解决了传统的石英腔体在使用过程中，频繁更换腔体带来的消耗，降低了维护成本；

电机内置，克服了石英腔体外置电极在空气中易产生臭氧及射品泄漏的危害，提供了良好的使用欢迎；

采用了一体化设计，缩小了设备的占地空间；

以触摸屏为人机界面，使编制和修改工艺变得简单易行；

具有PID自动调压，安全互锁和故障报警功能，使操作更加简单安全；

射频辐射低于国家职业照射标准

去磷硅玻璃清洗机

设备概述

去磷硅玻璃清洗机是用于再太阳能光伏行业的生产工艺中，在沉积减反射膜之前，去除硅片表面再扩散过程中产生的磷硅玻璃。

产品的主要特点及优势

设备采用框架提篮方式对硅片进行清洗；

机械臂采用绗车式，运行平稳迅速；

采取多种检测保护措施，使设备具有更高的安全性与可靠性；

大尺寸彩色触摸屏操作，方便参数设置及工艺转换。

四探针电阻测试仪

设备概述

本设备主要用于测量硅片的薄层电阻和电阻率，也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率，且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行检测和评估，该测试仪还可以用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。

产品的主要特点及优势

采用工控机控制，基于Windows2000系统平台的测试程序，具有良好的用户界面；

可以对测量参数进行保存、输出、打印，并可根据所选数据的结果绘制、打印直方图、Excel输出，已满足用户进行数据统计和数据管理等要求的需求；

测试仪探头采用美国产品，测试稳定、可靠；

探头正常使用时间，10万次，使用寿命长。

氮气存储柜

产品的主要特点及优势

本设备为高洁净度氮气保管柜；

用于工艺生产中成品、半成品和原材料等的存放；

全透明设计，外形美观，移动灵活；

密封严密，氮气消耗量少；

工作区尺寸可根据用户要求调整，以满足不同需求；

单层最大承重：30kg。

SSP8471A管式PECVD

设备概述

PECVD在太阳能光伏行业中，用于制备减反射膜。PECVD可泊淀积氧华硅、氮化硅等薄膜。

产品的主要特点及优势

配备自动舟升降，实现四管工艺舟全自动取料。

稳定的射频引入方式：方便可靠的点击链接方式稳定、直观、易于操作。

高性能进口元器件组合：采用进口亚控系统、射频源、干泵、流量计及进口气路元器件，确保设备运行的可靠性和工艺的均匀性。

成熟工艺，成熟产品：五十余年专业电子设备研发经验，铸就成熟工艺及成熟产品，且成膜均匀性好并具有较高的转换效率；应用于国内多条太阳能电池片成产线，并出口海外。